TEM破解半導體差排軌跡 找出晶片漏電真因(1)

作者: 鮑忠興
2024 年 05 月 03 日
差排這個微小缺陷可能會引發半導體元件的漏電流,進而嚴重影響元件的可靠性。穿透式電子顯微鏡(TEM)是目前唯一能觀察到微小差排的分析工具。TEM可以分析差排的型貌、密度和種類,以及差排在矽基板內的延伸軌跡。...
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